특수가스제조 /
공급설비
반도체용 특수가스(N2O, NH3, NF3, SiH4, DCS, PH3, SF6, F2, HBr, HCl, Cl2 등)를 안전하고 안정적으로 고객에게 공급 가능한 시스템을 제공하고 있습니다.
CE Tank Type
특징
- 저장탱크의 액화가스를 기화시켜 사용하므로 대용량 공급이 가능
- 저장탱크에 충전하는 방식으로 용기의 교환주기가 없어 관리 용이
- 용기교환 업무 제거로 작업자 안전성 확보 및 불순물 유입 최소화
