가스정제기
고순도 원료가스(99.999% 이상) 중의 불순물(O2, CO, CO2, H2O, CH4 등)을 제거하여 ppb 단위의 초고순도 가스를 공급하는 장치입니다.
정제원리
1. 상온흡착 방식
상온에서 흡착제를 이용하여 불순물(O2, H2O, CO, CO2)을 제거하는 방식
1) 불순물 농도
| 불순물 | 입구(ppm) | 출구(ppb) |
| O2 | < 1 | < 1 |
| CO2 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| THC | < 1 | < 1 |
| H2O | < 5 | < 1 |
2) 사양
| 적용가스 | 유량 |
| N2, Ar, He, H2, O2 | ~ 20,000Nm³/h |
2. 촉매흡착 방식
고온에서 촉매를 이용하여 불순물(CH4, CO, H2, CO2, H2O)을제거하는 방식
1) 불순물 농도
| 불순물 | 입구(ppm) | 출구(ppb) |
| O2 | < 1 | < 1 |
| CO2 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| THC | < 1 | < 1 |
| H2O | < 5 | < 1 |
2) 사양
| 적용가스 | 유량 |
| N2, O2, Ar, He | ~ 20,000Nm³/h |
3. Getter 촉매 방식
Getter 촉매를 이용하여 불순물(O2, CO, CO2, H2O, CH4, N2)을 제거하는 방식
1) 불순물 농도
| 불순물 | 입구(ppm) | 출구(ppb) |
| O2 | < 1 | < 1 |
| CO2 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| THC | < 1 | < 1 |
| H2O | < 5 | < 1 |
2) 사양
| 적용가스 | 유량 |
| Ar, He, H2 | ~ 200Nm³/h |
4. 저온흡착 방식
고온에서 촉매를 이용하여 불순물(CH4, CO, H2, CO2, H2O)을제거하는 방식
1) 불순물 농도
| 불순물 | 입구(ppm) | 출구(ppb) |
| O2 | < 5 | < 1 |
| N2 | < 40 | < 1 |
| CO2 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| THC | < 1 | < 1 |
| H2O | < 5 | < 1 |
2) 사양
| 적용가스 | 유량 |
| H2, He | ~ 200Nm³/h |