초저온 공기분리 플랜트
심랭분리 공기분리장치는 공기중의 질소(78%), 산소(21%), 알곤(0.9%)을 비점차를 이용하여 분리하는 장치로서 효율이 매우 좋을 뿐 아니라 고순도의 질소, 산소, 알곤을 분리할 수 있습니다. 그리고 크립톤(Kr), 크세논(Xenon), 네온(Ne)과 같은 희가스도 분리할 수 있습니다.
| 구분 | N2 | O2 |
Ar |
비고 |
| 생산능력 | ~100,000Nm³/h | ~50,000Nm³/h | Balance |
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| 순도 | ≤10ppb O2 | ≤ 99.8% | < 0.5ppm O2 | |
| 특징 |
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